
生產(chǎn)鍍膜設(shè)備
1.自動(dòng)化程度高,生產(chǎn)效率高、成本低、產(chǎn)品質(zhì)量高;
2.工藝穩(wěn)定性:厚度波動(dòng)≤±0.5%;
3.膜層均勻性: 8英寸晶圓,厚度差異≤±0.5%;
4.膜層性能優(yōu)越:
①鍍多種/多層精密光學(xué)膜:?jiǎn)螌?Si/SiO2/SiN/Ta2O5等材料;
②鍍膜品質(zhì)好:配備獨(dú)立鍍膜腔,始終保持鍍膜室的真空狀態(tài),有利于保證鍍膜的品質(zhì);
③膜厚精準(zhǔn)控制:?jiǎn)螌映练e速率公差:?R±0.5%;
④膜層雜質(zhì)低:高純化合物膜層,例如光通訊用低損耗 SiN 薄膜純度更高,可以使得膜層硬度和光學(xué)特性得到更大的提升;
⑤膜層致密:膜層質(zhì)量好,膜層更致密,結(jié)合力更高,不易掉落;
5.設(shè)備適合于鍍制增透膜、濾光片、分光膜、冷光膜、高反膜等多層光學(xué)膜;光通訊光波導(dǎo)用半導(dǎo)體功能光學(xué)膜、金屬膜等。
輔助生產(chǎn)設(shè)備

清洗設(shè)備
美國(guó)進(jìn)口全自動(dòng)化超聲波清洗產(chǎn)線

切割設(shè)備
日本先進(jìn)切割機(jī)

光譜測(cè)量設(shè)備
安捷倫檢測(cè)設(shè)備cary6000i

外觀檢驗(yàn)設(shè)備
高精度先進(jìn)顯微鏡
有任何問(wèn)題,隨時(shí)與我們?nèi)〉寐?lián)系,我們真誠(chéng)為您解答!
聯(lián)系我們