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中心/邊緣/陷波波長
滑動條范圍
條件:

Single SiN Film

晶圓鍍膜具有高度穩(wěn)定工藝重復(fù)性:≤±0.3%;片內(nèi)均勻性: ≤±0.5%(單個8英寸晶圓片內(nèi), R≤90mm ),表面質(zhì)量高等優(yōu)勢。

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