Single aSiN Film
產(chǎn)品編號：
晶圓鍍膜具有高度穩(wěn)定工藝重復(fù)性：≤±0.3%；片內(nèi)均勻性: ≤±0.5%（單個(gè)8英寸晶圓片內(nèi)， R≤90mm ），表面質(zhì)量高等優(yōu)勢。
應(yīng)用分類：
硅晶圓
晶圓級鍍膜
硅晶圓
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品優(yōu)勢
Single aSiN Film 產(chǎn)品參數(shù)
| Specification | Value |
| Substrate | 8inch Si Wafer |
| Thickness | ~110nm |
| nd | > 3.6 @ 1550nm |
| k | > E-4 @ 1550nm |
| Offset | ± 0.5% |
| Run Off | ± 0.5% |
| RMS | < 1nm |
| Particle | ≥ 50um @ ≤25個(gè) On 8inch Wafer |
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